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高要真空泵机组不锈钢-非耀真空泵

发布时间:2021-03-19 19:52

  非耀水环式真空泵真空泵站(中央线. 自动启停:根据真空度自动控制线. 真空稳定:使真空度一直在设定的区间范围内,其区间范围可根据实际要求进行调整,ag追杀模式前兆,做到不浪费一点的线. 无人操作:该真空系统在无人操作情况下对系统进行自动控制,在停电时可自动封闭线. 高效节能:采用高效节能的2BV或者2BE水环真空泵作为线年代研发的SZ、SK、2SK系列水环式真空泵相比具有真空度高,抽气量大,节能,体积小,效率高,易于维护等优点。

  1.抽除含有大量水蒸汽的混合气体,或者类似具有较高蒸汽压的气体,如:乙醇、卤代烃等。抽除这类气体采用罗茨泵与水环真空泵机组或者是罗茨泵与气冷罗茨泵的机组均可。但是,只要被抽气体成分不破坏前级泵油,抽除这类气体经济的设计选择是在罗茨泵与旋片泵组成的机组中,对罗茨泵的进出口分别串接冷却器,使大量过饱和蒸汽在冷却器中冷凝下来排走,如果前级泵采用象X-150单级旋片真空泵这种热泵,机组适用性更强。2.对抽除高沸点物质的气体,如:丙三醇(C3H8O3)等气体,为避免这类气体进入罗茨泵沉积下来,必须提高罗茨泵的温度,如用高温加热的氮气冲入来提高泵温。3.多见的特殊工况是抽除含有大量灰分或颗粒状杂质的气体,如:真空冶炼金属镁,真空冶炼钢等工艺中均有大量杂质和灰分,一般处理方法均在机组入口前加装除尘器,除尘器的种类很多,有旋风式的,扩散式的,也有喷淋式的和浴式的等等。

  罗茨真空泵机组在真空工程中应用时,一般与前级真空泵如旋片泵、滑阀泵、水环泵或其它直排大气的干式泵等串联构成机组,在中、低真空范围,作为机械增压泵来应用,其工作原理与罗茨鼓风机相同。罗茨真空泵机组的实际抽气速率除与理论抽气速率、零流量压缩比密切相关外,还受制于前级泵性能。罗茨真空泵机组在设计选型上能够合理配置,使罗茨真空泵机组中罗茨泵与前级泵的抽速比选择更具适用性和经济性。在真空工程中,罗茨泵作为增压泵使用时多与前级真空泵串联构成机组来使用,当已知前级泵的抽气特性后,罗茨真空泵机组的抽气特性通过简单计算即可获得。罗茨真空泵机组的抽速和效率与罗茨泵和前级泵的配比选择以及罗茨泵所处工作压力点有关。所以,罗茨真空泵机组中前级泵的配置应根据罗茨泵所处工作压力范围以及工况条件来确定,以选取与主泵和真空系统相适应的前级泵种类和抽速具体取值主要受气体温升和效率影响,并应考虑满足工况要求。尽管使用条件千变万化,但合理的配比选择可以保证罗茨真空泵机组具有较好的适用性和经济性。

  具体地讲1000升/秒分子增压泵和1500升/秒的涡轮分子泵在这一阶段抽气的效果是相同的。辉光轰击阶段,由于此时放电压力在2Pa左右,一般来讲主泵的抽气能力遭到影响,传统地均采用节流的方法以牺牲抽速来换取泵的稳定工作,扩散泵和涡轮分子泵都是如此,尤其是扩散泵抽速损掉更大,相应地放电的氩气流量也明显削减。然而这一阶段只有大的有效抽速,大的氩气流量才能获得更好的轰击清洗的效果。在这一点上分子增压泵是有明显的优势。在后的溅射沉积阶段典型的工作压力为0.5Pa,扩散泵和涡轮分子泵仍需节流,且不说在该种情况下,沉积的压力难于稳定,减小的抽气速率势必要让精抽过程当中所达到的活性气体(放气)的分压明显地回升。


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